长江存储喜迎第一台光刻机:可造14nm 3D闪存

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中芯国际花了1.2亿美元从荷兰ASML买来一台EUV极紫外光刻机,未来可用于生产7nm工艺芯片,而根据最新消息,长江存储也迎来了自己的第一台光刻机,国产SSD固态硬盘再次取得重大突破。
据悉,这台光刻机同样来自荷兰ASML(人家把持着全球90%的光刻机市场),193nm沉浸式设计,可生产20-14nm工艺的3D NAND闪存晶圆,售价达7200万美元,约合人民币4.6亿元。
目前,该机已经运抵武汉天河机场,相关入境手续办理完毕后,即可运至长江存储的工厂。
后续,长江存储还会引入更多光刻机。

2016年底,世界级的国家存储器基地项目(一期)一号生产和动力厂房在武汉正式开工建设,2017年9月底提前封顶,2018年4月5日首批价值400万美元的精密仪器进场安装。
目前,长江存储拥有完全自主知识产权的32层堆叠3D NAND闪存已经开始试产,不少产业链企业都拿到了样片测试,预计今年第四季度量产。
同时,长江存储还在推进64层堆叠3D闪存,力争2019年底实现规模量产,与世界领先水平差距缩短到2年之内。

5月21日上午,在上海浦东新区康桥工业园南区,华虹集团旗下上海华力集成电路制造有限公司建设和营运的12英寸先进生产线建设项目(“华虹六厂”)实现首台工艺设备光刻机搬入。

这台光刻机的型号是NXT 1980Di,依然是荷兰ASML提供,后者官方显示,这是一台193nm双级沉浸式光刻机,用于10nm级(14~20nm)晶圆生产,它也是大陆装备的最先进的沉浸式光刻设备。
华力微电子官网资料显示,华虹六厂是该司的第二个12英寸晶圆生产线,设计月产能4万片,工艺技术从28nm起步,最终将具备14nm三围工艺的高性能芯片生产能力。
另外,根据赛迪顾问的统计,按照销售额,上海华虹位列2017年国内十大集成电路制造企业第五位。
 

古之立大事者,不惟有超世之才,亦必有坚忍不拔之志。

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