一、光刻机核心概念股（截至2025年3月）

1. ‌整机及核心部件企业‌

   • ‌张江高科‌：通过子公司持有上海微电子10.78%股权，其600系列光刻机可满足90nm制程需求，2025年3月股价表现活跃‌。
   • ‌奥普光电‌：实控人长春光机所参与90nm光刻机曝光系统研发，技术积累深厚‌。
   • ‌上海电气‌：母公司为上海微电子第一大股东，间接布局光刻机整机业务‌。
   • ‌东方明珠‌：间接参股上海微电子，受益于国产光刻机技术突破‌。

2. ‌核心部件供应商‌

   • ‌波长光电‌：提供光刻机配套大孔径光学镜头和平行光源系统，产品进入半导体光刻检测领域‌。
   • ‌茂莱光学‌：光刻机曝光物镜用光学器件最大口径达300mm，支持KrF、ArF等高端光刻机‌。
   • ‌福晶科技‌：向ASML、华为等供应光学元件，技术获国际认可‌。
   • ‌赛微电子‌：MEMS芯片和GaN外延材料业务与光刻机产业链协同‌。

3. ‌材料与设备配套‌

   • ‌彤程新材‌：光刻胶国产化主力企业，与光刻机制造协同发展‌。
   • ‌晶瑞新材‌：布局高端光刻胶，支持半导体制造国产化‌。
   • ‌华特气体‌：特种气体供应商，覆盖光刻机生产环节‌。

二、光刻机产业链布局

1. ‌整机研发与制造‌

   • ‌国产主力‌：上海微电子（张江高科参股）、长春光机所（奥普光电关联）‌。
   • ‌国际龙头‌：ASML供应链企业如福晶科技、炬光科技等‌。

2. ‌核心部件环节‌

   • ‌光源系统‌：波长光电、福晶科技、炬光科技‌。
   • ‌物镜系统‌：茂莱光学、永新光学、奥普光电‌。
   • ‌工件台与掩膜版‌：华亚智能、清溢光电、路维光电‌。

3. ‌材料与工艺支持‌

   • ‌光刻胶‌：彤程新材、晶瑞新材、南大光电‌。
   • ‌精密加工‌：安泰科技、中瓷电子、大族激光（激光设备）‌。

4. ‌下游应用与制造‌

   • ‌晶圆制造‌：中芯国际、华虹半导体（依赖光刻机设备）‌。
   • ‌封装测试‌：长电科技、通富微电（光刻工艺延伸环节）‌。

三、市场动态与趋势

1. ‌政策与资本支持‌

   • 国内对光刻机产业链投资力度加大，2025年3月中信证券指出国产高端光刻机发展加速，带动设备、材料企业受益‌。
   • 上海微电子等企业获国资背景支持，推动技术自主化突破‌。

2. ‌技术突破与市场表现‌

   • 茂莱光学2025年3月单日涨幅超10%，光刻机概念股逆势活跃‌。
   • 波长光电、永新光学等企业因产品进入ASML供应链，估值提升显著‌。

3. ‌风险提示‌

   • 部分企业市盈率畸高（如张江高科动态市盈率58倍），需警惕市场炒作风险‌。
   • 国际技术封锁持续，福晶科技等企业客户集中度高，存在供应链波动风险‌。

以上内容综合光刻机产业链上下游企业及市场热点，覆盖整机制造、核心部件、材料配套等关键环节，标注来源为相关市场动态及产业链分析‌。